e乐彩

行业新闻
你的位置：首页 > 新闻动态 > 行业新闻

美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求

来源：上海纯水设备      2020-09-23 10:49:23      点击：

美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求

项目             

TypeE-1

TypeE-1．1

TypeE-1.2

TyPeE-2

TyPeE-3

TyPeE-4

线宽(μm)        

1.0-0.5

0.5-0.25

0.25-0.18

5-1

>5

-

电阻率          

18.2

18.2

18.2

17.5

12

0.5

热源(EU/ml)     

0.03

0.03

0.03

0.25

-

-

TOC(μg／L)     

5

2

1

50

300

1000

溶解氧DO(μg／L)

1

1

1

-

-

-

蒸发残渣(μg／L)

1

0.5

0.1

-

-

-

微粒(μm)(SEM检测)

 

 

 

       

         

         

0.1—0.2       

1000

1000

200

       

         

         

0.2—0.5       

500

500

l00

  3000 

         

         

0.5—1.0       

50

50

1

       

  10000  

         

10              

-

-

-

       

         

  100000 

微粒(μm)(在线检测)

           

         

         

       

         

         

    0.05—0.1  

  500      

  500    

  100    

       

         

         

    0.1—0.2   

  300      

  300    

  50     

       

         

         

    0.2—0.3   

  50       

  50     

  20     

       

         

         

    0.3—0.5   

  20       

  20     

  10     

       

         

         

    ＞0.5       

 4          

    4     

  1       

       

         

         

 细菌           

           

         

         

       

         

         

    100ml  Sample

           1

        1 

     1    

       

         

         

    1L Sample    

           1

        1 

    0.1 

    10 

    10000

  100000

 硅(μm)        

           

         

         

       

         

         

    总硅         

           3

    0.5 

    0.5 

    10 

    50   

  1000   

    溶解硅        

           1

    0.1 

    0.05

       

         

         

 离子(μg／L)    

           

         

         

       

         

   

    NH4          

0.1       

0.1     

0.05    

-   

-     

        

    Br           

0.1         

0.05      

0.02

-    

-         

       

    Cl            

0.l         

0.05       

0.02      

1      

10       

1000     

    F           

0.1       

0.05       

0.03

-    

-    

-     

    N03         

0.1         

0.05       

0.02

1      

5        

500      

    N02         

0.l         

0.05      

0.02

-   

-     

-       

    P04        

0.1     

0.05       

0.02

1      

5        

500      

    S04         

0.1      

0.05        

0.02

1      

5        

500       

    Al         

0.05       

0.02

0.005   

-    

-    

-    

    Ba         

0.05       

0.02      

0.001   

-   

-   

-   

    B           

0.05       

0.02

0.005   

-   

-   

-   

    Ca        

0.05      

0.02

0.002   

-     

-      

-     

    Cr        

0.05       

0.02

0.002   

-   

-       

-      

    Cu        

0.05      

0.02

0.002   

1      

2        

500      

    Fe        

0.05       

0.02

0.002   

-   

-   

-   

    Pb         

0.05       

0.02

0.005   

-    

-    

-    

    Li         

0.05       

0.02      

0.003   

-   

-   

-   

    Mg        

0.05      

0.02

0.002   

-    

-    

-    

    Mn        

0.05       

0.02

0.002   

-   

-      

-      

    K          

0.05        

0.02

0.002     

1      

2        

500      

    K         

0.05      

0.02

0.005     

2      

5        

500      

    Na          

0.05     

0.02

0.005    

1      

5        

1000     

    Sr          

0.05      

0.02

0.00l   

-      

-     

 -        

    zi          

0.05

0.02

0.002   

1      

5        

500      

，, ， ，。